簡(jiǎn)要描述:中圖儀器VT6000共聚焦顯微鏡大坡度成像更清晰,它以針孔共聚焦技術(shù)為原理,結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D建模算法等對(duì)器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測(cè),對(duì)大坡度的產(chǎn)品有更好的成像效果,在滿足精度的情況下使用場(chǎng)景更具有兼容性。
產(chǎn)品分類
Product Category詳細(xì)介紹
品牌 | 中圖儀器 | 產(chǎn)地 | 國(guó)產(chǎn) |
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加工定制 | 否 |
中圖儀器VT6000共聚焦顯微鏡大坡度成像更清晰,它以針孔共聚焦技術(shù)為原理,結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D建模算法等對(duì)器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測(cè),對(duì)大坡度的產(chǎn)品有更好的成像效果,在滿足精度的情況下使用場(chǎng)景更具有兼容性。
共聚焦顯微鏡能夠清晰地展示微小物體的圖像形態(tài)細(xì)節(jié),顯示出精細(xì)的細(xì)節(jié)圖像。它具有直觀測(cè)量的特點(diǎn),能夠有效提高工作效率,更加快捷準(zhǔn)確地完成日常任務(wù)。借助共聚焦顯微鏡,能有效提高工作效率,實(shí)現(xiàn)更準(zhǔn)確的操作。
型號(hào):VT6100
測(cè)量原理:共聚焦光學(xué)系統(tǒng)
光源:白光LED
行程范圍:100*100*100mm
視場(chǎng)范圍:120×120 μm~1.2×1.2 mm
高度測(cè)量重復(fù)性(1σ):12nm
高度測(cè)量精度:± (0.2+L/100) μm
高度測(cè)量分辨率:0.5nm
寬度測(cè)量重復(fù)性(1σ):40nm
寬度測(cè)量精度:± 2%
寬度測(cè)量分辨率:1nm
外形尺寸:520×380×600mm
儀器重量:50kg
1)設(shè)備具備表征微觀形貌的輪廓尺寸及粗糙度測(cè)量功能;
2)設(shè)備具備自動(dòng)拼接功能,能夠快速實(shí)現(xiàn)大區(qū)域的拼接縫合測(cè)量;
3)設(shè)備具備一體化操作的測(cè)量與分析軟件,預(yù)先設(shè)置好配置參數(shù)再進(jìn)行測(cè)量,軟件自動(dòng)統(tǒng)計(jì)測(cè)量數(shù)據(jù)并提供數(shù)據(jù)報(bào)表導(dǎo)出功能,即可快速實(shí)現(xiàn)批量測(cè)量功能;
4)設(shè)備具備調(diào)整位置、糾正、濾波、提取四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能;
5)設(shè)備具備粗糙度分析、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能;
6)設(shè)備具備一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能,可實(shí)現(xiàn)批量數(shù)據(jù)文件的快速分析功能;
1、高精度、高重復(fù)性
1)以轉(zhuǎn)盤共聚焦光學(xué)系統(tǒng)為基礎(chǔ),結(jié)合高穩(wěn)定性結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和3D重建算法,共同組成測(cè)量系統(tǒng),保證儀器的高測(cè)量精度;
2)隔震設(shè)計(jì)能夠消減底面振動(dòng)噪聲,儀器在嘈雜的環(huán)境中穩(wěn)定可靠,具有良好的測(cè)量重復(fù)性。
2、一體化操作的測(cè)量分析軟件
1)測(cè)量與分析同界面操作,無(wú)須切換,測(cè)量數(shù)據(jù)自動(dòng)統(tǒng)計(jì),實(shí)現(xiàn)了快速批量測(cè)量的功能;
2)可視化窗口,便于用戶實(shí)時(shí)觀察掃描過(guò)程;
3)結(jié)合自定義分析模板的自動(dòng)化測(cè)量功能,可自動(dòng)完成多區(qū)域的測(cè)量與分析過(guò)程;
4)幾何分析、粗糙度分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析五大功能模塊齊全;
5)一鍵分析、多文件分析,自由組合分析項(xiàng)保存為分析模板,批量樣品一鍵分析,并提供數(shù)據(jù)分析與統(tǒng)計(jì)圖表功能;
6)可測(cè)依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT等標(biāo)準(zhǔn)的多達(dá)300余種2D、3D參數(shù)。
3、精密操縱手柄
集成X、Y、Z三個(gè)方向位移調(diào)整功能的操縱手柄,可快速完成載物臺(tái)平移、Z向聚焦等測(cè)量前工作。
4、雙重防撞保護(hù)措施
除軟件ZSTOP設(shè)置Z向位移下限位進(jìn)行防撞保護(hù)外,另在Z軸上設(shè)計(jì)有機(jī)械電子傳感器,當(dāng)鏡頭觸碰到樣品表面時(shí),儀器自動(dòng)進(jìn)入緊急停止?fàn)顟B(tài),保護(hù)儀器,降低人為操作風(fēng)險(xiǎn)。
VT6000共聚焦顯微鏡大坡度成像更清晰,能對(duì)各種產(chǎn)品、部件和材料表面的面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、平面度、粗糙度、波紋度、孔隙間隙、臺(tái)階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析。
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