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表面形貌即為表面微觀幾何形態(tài)，不僅對接觸零件的機械和物理特性起著決定作用，而且對一些非接觸零件的光學(xué)和外部特性影響也很大。所以對表面形貌的精準測量能正確地識別出加工過程的變化和缺陷，對研究表面幾何特性與使用性能的關(guān)系、控制和改進加工方法等都...

白光干涉儀又叫做非接觸式光學(xué)3D表面輪廓儀，是以白光干涉掃描技術(shù)為基礎(chǔ)研制而成用于樣品表面微觀形貌檢測的精密儀器。它以白光干涉技術(shù)為原理，光源發(fā)出的光經(jīng)過擴束準直后經(jīng)分光棱鏡后分成兩束，一束經(jīng)被測表面反射回來，另外一束光經(jīng)參考鏡反射，兩束反...

高精度光柵測長儀是一種測量長度、位移和角度等物理量的精密儀器。它利用光柵原理，將光柵分成許多微小的條紋，通過測量光柵上的條紋數(shù)來確定被測物體的長度或位移。利用物體與激光之間的相位差來計算物體長度的。它由激光發(fā)射器、光柵板、檢測器和信號處理系...

半導(dǎo)體大規(guī)模生產(chǎn)過程中需要在晶圓上沉積集成電路芯片，然后再分割成各個單元，最后再進行封裝和焊接，因此對晶圓切割槽尺寸進行精準控制和測量，是生產(chǎn)工藝中至關(guān)重要的環(huán)節(jié)。VT6000系列共聚焦顯微鏡是中圖儀器傾力推出的一款顯微檢測設(shè)備，廣泛應(yīng)用于...

3D成像技術(shù)實現(xiàn)了二維到三維的升級。智能化制造下，具有3D成像功能的機器視覺系統(tǒng)可以更快，更準確地檢查生產(chǎn)現(xiàn)場的組件。其中表面形貌的3D測量，包括了輪廓的測量以及表面粗糙度的測量，是微納結(jié)構(gòu)測量最為基礎(chǔ)和重要的項目。目前常用的微結(jié)構(gòu)表面形貌...

航空發(fā)動機是一種高度復(fù)雜的精密熱力機械。作為飛機飛行的動力，高性能航空發(fā)動機追求的是在有限的自身重量和工作空間，以及惡劣的工作條件下，達到長期穩(wěn)定的服役性能，所以它的設(shè)計、材料與制造技術(shù)的進步起著關(guān)鍵性的作用。在航空發(fā)動機上，存在較多的通過...