中圖儀器SJ6000工業(yè)機床激光干涉儀利用激光干涉現(xiàn)象來實現(xiàn)非接觸式測量,具有高精度、高分辨率、快速測量等優(yōu)點,可實現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。
中圖超高精度激光干涉儀sj6000集光、機、電、計算機等技術(shù)于一體,具有測量精度高、測量速度快、測量范圍大、最高測速下分辨率高等特點。
中圖儀器SJ6000高精密激光干涉測量儀以光波為載體,其光波波長可以直接對米進行定義,集光、機、電、計算機等技術(shù)于一體,結(jié)合不同的光學(xué)鏡組,可實現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。
SJ6000中圖激光干涉儀機床校準(zhǔn)補償系統(tǒng)具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優(yōu)點。采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù),可實現(xiàn)高精度、抗擾力強、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出;采用高速干涉信號采集、調(diào)理及細(xì)分技術(shù),可實現(xiàn)高4m/s的測量速度,以及納米級的分辨率。
SJ6000中圖激光干涉儀測量機床精度集光、機、電、計算機等技術(shù)于一體,產(chǎn)品采用進口高性能氦氖激光器,其壽命可達(dá)50000小時。儀器具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優(yōu)點,結(jié)合不同的光學(xué)鏡組,可實現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。
中圖儀器SJ6000國產(chǎn)激光干涉儀測量機床精度以光波為載體,具有測量精度高、測量速度快、測量范圍大、最高測速下分辨率高等特點。結(jié)合不同的光學(xué)鏡組,可實現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。
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