SuperViewW1光學輪廓儀測表面粗糙度的儀器具有測量精度高、操作便捷、功能齊全、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點,可對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。
SuperViewW1三維光學3D表面輪廓儀是一款用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量的檢測儀器。它是基于白光干涉原理研制而成,采用擴展型的相移算法EPSI,集合了相移法PSI的高精度和垂直法VSI的大范圍兩大優(yōu)點,單一模式即可適用于從超光滑到粗糙、平面到弧面等各種表面類型,讓3D測量變得簡單。
chotest光學輪廓儀以白光干涉技術(shù)為原理,除主要用于測量表面形貌或測量表面輪廓外,具有的測量晶圓翹曲度功能,非常適合晶圓,太陽能電池和玻璃面板的翹曲度測量,應變測量以及表面形貌測量。
W1光學3D輪廓儀利用光學干涉原理,測量單個精細器件的過程用時2分鐘以內(nèi),確保了高款率檢測。具有測量精度高、操作便捷、功能齊全、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點。對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。
SuperViewW1光學材料表面形貌測試儀以白光干涉技術(shù)為原理,能夠以優(yōu)于納米級的分辨率,測試各類表面并自動聚焦測量工件獲取2D,3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數(shù),廣泛應用于光學,半導體,材料,精密機械等等領域。是一款非接觸測量樣品表面形貌的光學測量儀器。
SuperViewW1光學形貌輪廓儀測量精度高、操作便捷、功能齊全、測量參數(shù)涵蓋面廣,是一款利用光學干涉原理研制開發(fā)的超精細表面輪廓測量儀器。測量單個精細器件的過程用時2分鐘以內(nèi),確保了高款率檢測。其特殊光源模式可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細器件表面的測量。
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