簡要描述:CHOTEST中圖激光干涉儀采用高性能的穩(wěn)頻氦氖激光器,采用邁克爾遜干涉原理的測量儀器。具有測量精度高、量程大、速度快、靈敏度高、抗擾力強(qiáng)等優(yōu)點(diǎn)。在計量領(lǐng)域中可作為長度基準(zhǔn)以及設(shè)備校準(zhǔn)工具。廣泛應(yīng)用于數(shù)控機(jī)床、激光打標(biāo)/切割、三坐標(biāo)、影像儀、精密測量、自動化、機(jī)器人、3D打印等領(lǐng)域。
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品牌 | 中圖儀器 | 產(chǎn)地 | 國產(chǎn) |
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加工定制 | 否 |
CHOTEST中圖激光干涉儀采用高性能的穩(wěn)頻氦氖激光器,采用邁克爾遜干涉原理的測量儀器。具有測量精度高、量程大、速度快、靈敏度高、抗擾力強(qiáng)等優(yōu)點(diǎn)。在計量領(lǐng)域中可作為長度基準(zhǔn)以及設(shè)備校準(zhǔn)工具。廣泛應(yīng)用于數(shù)控機(jī)床、激光打標(biāo)/切割、三坐標(biāo)、影像儀、精密測量、自動化、機(jī)器人、3D打印等領(lǐng)域。
CHOTEST中圖激光干涉儀可實(shí)現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。在動態(tài)測量軟件配合下,可實(shí)現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動態(tài)測量與性能檢測,以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態(tài)分析,如振動分析、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。
1.精度高
SJ6000激光干涉儀以干涉技術(shù)為核心,其光波可直接對米進(jìn)行定義。采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù),可實(shí)現(xiàn)高精度、抗干擾能力強(qiáng)、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出;采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊,可實(shí)現(xiàn)激光波長和材料的自動補(bǔ)償;干涉鏡與主機(jī)分離設(shè)計,避免干涉鏡受熱影響,保證干涉光路穩(wěn)定可靠。
2.功能廣
可實(shí)現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測量;
可檢測數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測量機(jī)等精密運(yùn)動設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等,以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等;
可實(shí)現(xiàn)龍門機(jī)床雙軸同步測量;
可實(shí)現(xiàn)對機(jī)床回轉(zhuǎn)軸的測量與校準(zhǔn);
可根據(jù)用戶設(shè)定的補(bǔ)償方式自動生成誤差補(bǔ)償表,為設(shè)備誤差修正提供依據(jù);
具有動態(tài)測量與分析功能,包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等,可進(jìn)行振動分析、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等;
支持手動或自動進(jìn)行環(huán)境補(bǔ)償。
3.軟件強(qiáng)
友好的人機(jī)界面;
豐富的應(yīng)用功能模塊;
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簡潔化的記錄管理;
支持中文、英文和俄文界面;
支持企業(yè)專屬模板定制。
穩(wěn)頻精度 | 0.05ppm |
動態(tài)采集頻率 | 50 kHz |
預(yù)熱時間 | ≤ 6分鐘 |
工作溫度范圍 | (0~40)℃ |
存儲溫度范圍 | (-20~70)℃ |
環(huán)境濕度 | (0~95)%RH |
線性測量距離 | (0~80)m (無需遠(yuǎn)距離線性附件) |
線性測量精度 | 0.5ppm (0~40)℃ |
角度軸向量程 | (0~15)m |
角度測量精度 | ±(0.02%R+0.1+0.024M)″ |
SJ6000激光干涉儀系統(tǒng)具有豐富的模塊化組件,可根據(jù)具體測量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列,依次為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動精密轉(zhuǎn)臺。
▲主要鏡組圖
其中,線性鏡組為標(biāo)配,由線性干涉鏡、線性反射鏡和夾緊孔座構(gòu)成??蓾M足線性位移設(shè)備的定位精度、重復(fù)定位精度、反向間隙的測量與分析,以及反向間隙修正和螺距補(bǔ)償。
如機(jī)器軸垂直度誤差測量(數(shù)控機(jī)床、坐標(biāo)測量機(jī)等),SJ6000激光干涉儀垂直度測量是通過比較直線度值從而確定兩個標(biāo)稱正交坐標(biāo)軸的非直角度,即在同一基準(zhǔn)上對兩個標(biāo)稱正交軸分別進(jìn)行直線度的測量。然后對兩個軸的直線度進(jìn)行比較,得出兩個軸的垂直度。共同的參考基準(zhǔn)通常指的是兩次測量時反射鏡的光學(xué)準(zhǔn)直軸,在兩次測量過程中既不移動、也不調(diào)整,光學(xué)直角尺測量中,允許調(diào)整激光束與直線度的準(zhǔn)直,而不動直線度反射鏡。
典型情況下對于1.5米長的機(jī)器軸,像使用激光干涉儀這樣的光學(xué)方法是好選擇,因為傳統(tǒng)的實(shí)物基準(zhǔn),如直角尺(金屬或大理石等)的長度一般局限于1米的范圍內(nèi)。
SJ6000激光干涉儀易操作,方便攜帶,外形小巧美觀方便攜帶,一套完整的激光干涉儀和鏡組只需要裝在一個類似于行李箱的工具箱中,整體加起來的重量在18kg左右,再加上一個可以自由伸縮調(diào)整高度的三腳架(裝在無紡編織袋中),即刻擁有了一套隨時隨地可用于機(jī)械測量的解決方案!激光干涉儀與環(huán)境補(bǔ)償器都有端口和計算機(jī)USB接口相連,實(shí)時傳遞檢測數(shù)據(jù),供計算機(jī)檢定軟件測算,檢定過程輕松易掌握,沒有復(fù)雜的程序設(shè)定。
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