簡(jiǎn)要描述:中圖儀器白光干涉儀專(zhuān)用于非接觸式快速測(cè)量,具有三維形貌測(cè)量和圖像分析的功能。適合檢測(cè)的樣品按領(lǐng)域分為微納材料、超精密加工(機(jī)械、光學(xué))、半導(dǎo)體封裝、消費(fèi)電子類(lèi)這四個(gè)領(lǐng)域。
產(chǎn)品分類(lèi)
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品牌 | 中圖儀器 | 產(chǎn)地 | 國(guó)產(chǎn) |
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加工定制 | 是 | 儀器尺寸 | 900x700x604mm |
儀器主機(jī)重量 | 150kg | 臺(tái)階測(cè)量準(zhǔn)確度 | 0.3% |
粗糙度RMS重復(fù)性 | 0.005nm |
白光干涉儀適合檢測(cè)的樣品按領(lǐng)域分為微納材料、超精密加工(機(jī)械、光學(xué))、半導(dǎo)體封裝、消費(fèi)電子類(lèi)這四個(gè)領(lǐng)域。
其中消費(fèi)電子類(lèi)即智能電子產(chǎn)品的玻璃外殼、內(nèi)嵌組裝要求比較高的超光滑薄片,如home鍵、手機(jī)攝像頭里的薄片;
半導(dǎo)體行業(yè)的整個(gè)產(chǎn)業(yè)鏈上的工藝流程是:硅棒經(jīng)過(guò)一系列切削、打磨物理化學(xué)方法后獲得比較粗糙的硅片,經(jīng)過(guò)單面拋光后即成為可進(jìn)行蝕刻工藝(將IC芯片蝕刻到拋光面)的硅片,上述兩個(gè)步驟獲得的是半導(dǎo)體領(lǐng)域里原材料硅片,屬于來(lái)料部分,對(duì)拋光后的硅片拋光面粗糙度有要求,一般要求在1nm及以下。
中圖儀器白光干涉儀以白光干涉技術(shù)為原理,結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等,通過(guò)系統(tǒng)軟件對(duì)器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析,獲取質(zhì)量參數(shù),可以達(dá)到納米級(jí)的檢測(cè)精度。
產(chǎn)品參數(shù)
對(duì)表面質(zhì)量等級(jí)非常高的各種光學(xué)鏡片和玻璃等超精密加工產(chǎn)物進(jìn)行測(cè)量,如果采用接觸式的輪廓儀,會(huì)劃傷器件表面,而一般的非接觸式光學(xué)影像方法,也沒(méi)有辦法克服它們的高透明度特性。但用中圖儀器白光干涉儀可以解決。
玻璃屏檢測(cè)
生活中智能手機(jī)、平板電腦、智能手表等日常的智能產(chǎn)品中常見(jiàn)的玻璃屏,需要對(duì)其表面粗糙度和輪廓進(jìn)行檢測(cè)。以手機(jī)玻璃屏為例:
玻璃屏表面粗糙度檢測(cè)
藍(lán)寶石玻璃檢測(cè)
藍(lán)寶石有優(yōu)良的物理和化學(xué)特性,常被用于制作成各種光學(xué)元件。其主要成分是氧化鋁(Al?O?),主要用于制成攝像頭保護(hù)鏡、棱鏡、表鏡等,加工出來(lái)的藍(lán)寶石玻璃分為雙面拋光和單面拋光兩種,表面粗糙度就是決定了拋光程度(即表面質(zhì)量等級(jí))的直接因素。
一片單面拋光藍(lán)寶石玻璃的光面和糙面的粗糙度檢測(cè)圖像及數(shù)據(jù)
“見(jiàn)一葉而知深秋,窺一斑而見(jiàn)全豹" 這句話(huà)用來(lái)形容中圖儀器SuperView W1光學(xué)3D表面輪廓儀,在超精密加工顯微測(cè)量場(chǎng)景中發(fā)揮的作用恰如其分。
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