機(jī)床激光干涉儀基礎(chǔ)知識一篇搞定
更新時(shí)間：2021-06-22 點(diǎn)擊次數(shù)：1276
機(jī)床激光干涉儀可利用其線性測長功能，不僅能夠測量出數(shù)控機(jī)床的定位精度、重復(fù)定位精度和反向間隙等數(shù)據(jù)并對精度進(jìn)行補(bǔ)償。還能幫助我們利用檢測圖形和數(shù)據(jù)，來分析數(shù)控機(jī)床出現(xiàn)故障的原因及解決辦法，從而迅速恢復(fù)機(jī)床，縮短數(shù)控機(jī)床維修時(shí)間，提高數(shù)控機(jī)床維修的效率。
要測量線性軸的定位精度、重復(fù)定位精度和反向間隙等數(shù)據(jù)，需要使用激光測量系統(tǒng)的以下組件，主要有：XL 激光頭、三腳架和云臺、XC 環(huán)境補(bǔ)償單元、空氣溫度傳感器和材料溫度傳感器、線性測量光學(xué)鏡組、光學(xué)鏡安裝組件及安裝激光測量軟件的計(jì)算機(jī)。
機(jī)床激光干涉儀的信號時(shí)交流信號，因而對于激光干涉儀來說，可用放大倍數(shù)較大的交流放大器對干涉信號進(jìn)行放大，這樣，即使光強(qiáng)衰減90%，依然可以得到合適的電信號。該產(chǎn)品可以在恒溫，恒濕，防震的計(jì)量室內(nèi)檢定量塊，量桿，刻尺和坐標(biāo)測量機(jī)等，也可以在普通車間內(nèi)為大型機(jī)床的刻度進(jìn)行標(biāo)定。
如果測量光路長度改變（角E反射鏡C移動），干涉光束的相對相位將改變，由此產(chǎn)生的相長干涉和相消干涉的循環(huán)將導(dǎo)致疊加光束強(qiáng)度的明暗周期變化。角錐反射鏡每移動316nm，就會出現(xiàn)一個光強(qiáng)變化循環(huán)（明—暗—明）通過計(jì)算這些循環(huán)來測量移動。通過在這些循環(huán)之間進(jìn)行相位細(xì)分，實(shí)現(xiàn)更高分辨率（1nm）的測量。
機(jī)床激光干涉儀具有測量精度高、測量速度快、高測速下分辨率高、測量范圍大等優(yōu)點(diǎn)。通過與不同的光學(xué)組件結(jié)合，可以實(shí)現(xiàn)對直線度、垂直度、角度、平面度、平行度等多種幾何精度的測量。
在相關(guān)軟件的配合下，還可以對數(shù)控機(jī)床進(jìn)行動態(tài)性能檢測，可以進(jìn)行機(jī)床振動測試與分析，滾珠絲桿的動態(tài)特性分析，驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析，導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析等，具有*的精度和效率，為機(jī)床誤差修正提供依據(jù)。
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